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蔡司LSM800激光扫描共聚焦显微镜

时间:2019-11-21

设备名称:蔡司LSM800激光扫描共聚焦显微镜

存放地点:重点实验室南楼116

设备简介:

1.设备功能

在光学模式或共聚焦模式表征样品的三维结构,应用于二维和三维水平下的材料科学研究,例如涂层特性分析、摩擦学分析、失效分析和三维形貌成像与测量。配备Linkam热台系统,可以在真空、大气或气体保护环境下对材料高温微观组织进行观察。

2.技术参数

总体:配置蔡司AxioImagerZ2m全自动正置全自动显微镜。可通过软件及真彩色 TFT 触摸屏控制显微镜,实现目镜镜筒观察,三目摄像头图像输出,具备共聚焦观测功能。

扫描式载物台:压电陶瓷驱动,具有 XYZ方向自动扫描操作。移动范围130×85 mm2。最高速度 100 mm/s,精度0.2μm,重复精度<1μm,绝对精度+/- 5μm

共聚焦模式图像分辨率:4×1-6144×6144 像素,连续可调。

共聚焦模式光学分辨率:X/Y方向120 nmZ方向1 nm

计算机控制器:PC中配有实时电子部件,可控制显微镜、激光器、扫描模块和其他附件,实现与数据采集高度同步,采集数据时可在线分析。

高温台:极限真空1 Pa,最高使用温度1500°C,最大升/降温速率200 K/min


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