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JSM-6700F 扫描电镜

时间:2011-05-06

 

一、技术指标:
二次电子分辨率:1.0nm(加速电压15kV) 2.2nm(加速电压1kV)
放大倍数:低倍:×25-×19000
          高倍:×100-×650000
样品台尺寸:ф12.5-ф26mm
试样移动范围:X范围:0-70mm
              Y范围:0-50mm
              Z范围:1.5-25mm(连续旋转)角度360°
              倾斜:-5-60°
加速电压:0-20kV
电流:0-15mA
扫描模式:SEI,COMPO

二、技术特点:主要特点为冷场发射电子枪,强励磁圆锥透镜 ,高度集成化和自动化。

三、主要用途:主要用于纳米材料显微结构、尺寸分析 ,材料微结构、相组成及相分布分析 ,材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析、材料失效分析。

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